美光台中后里厂现况

中国台湾地区最大外商、存储器大厂美光科技位于台中后里园区的A3厂6月10日首度对外曝光，邀请了大批媒体前往参观，不过可惜的是，最新的EUV（极紫外光曝光机）设备尚未到位，无法让现场的媒体一窥这个全球最贵的机台，不过，台湾美光新任董事长卢东晖则透露为什么选择此时引进EUV。
远眺即可看台湾美光后里厂，“Micron”六个蓝色英文字母已成为后里地区的地标之一。根据《财讯》报导，这次美光持续加码投资台湾，斥资上千亿元打造A3新厂，该厂区约有五分之一的面积将专属于EUV设备使用。A3厂于2019年动土，2020年下半年完成无尘室建置，主要规划是用于增加无尘室空间的技术升级，为先进制程节点1gamma技术转移做准备，预计今年下半年将迎来第一台的EUV，2024年导入量产用在1gamma技术节点。
为什么选择这个时间点导入EUV？甫上任3个月的台湾美光新任董事长卢东晖说，EUV设备早就被台积电、三星等厂商采用，“我们一直在等，等待整个生产系统的设备更加具有可靠性以及周边相关设备如光罩等更加成熟之际”。
台积电于2015年正式装机第一批EUV设备，率先应用于7奈米制程生产逻辑IC产品。随着半导体先进制程需求越来越大，EUV成为主要关键设备，不只台积电，英特尔、三星也都相继导入。
从2015年迄今，EUV设备进入先进半导体制程已长达近8年的时间。因此，卢东晖认为，目前关于EUV设备的知识库已有一段时间的累积，也有助于员工相关专业技能的提升，所以现在引入是一个很好的时机点。
另一方面，从EUV的生态供应链观察，卢东晖强调，中国台湾地区比全世界任何一个地方更加完善，EUV制造商ASML也看到这样的机会，才会宣布在台湾持续加强人才的培育。
再者，扶植供应链本地化也是未来美光的重要任务之一。卢东晖认为，供应链本土化，不只是成本、效率等考量，服务品质也会比较好。尤其，受到疫情影响，运费变得非常的贵，所以接下来，美光希望可以在台湾地区打造完整且更加稳定的本土供应链。
不过，EUV设备早已从逻辑IC应用到DRAM市场，DRAM龙头厂三星于2020年3月即开始出货以EUV设备生产的DRAM产品。相较于竞争对手来说，美光导入EUV设备以及量产的时间点都远远落后，是否会担心未来的技术竞争力？
卢东晖表示，台湾美光接下来将导入两个最新DRAM技术，其中1β技术将于今年底在日本先试产后，明年再导入到台湾，以既有DUV浸润式设备大规模生产1β产品，公司内部对于1β的竞争力非常有信心，不论是成本、效能、功耗等各方面表现。