跨入第5代DRAM SK海力士今年将购8台EUV

韩国媒体ET News 26日报导，韩国业界人士透露，SK海力士计划斥资2兆韩元（477亿台币），购买8台阿斯麦（ASML）极紫外光曝光机（EUV），作为推出新一代存储器的一部分投资。
报导说，SK海力士2021年首度装置EUV，目前有5台EUV设备，今年若完成8台的装置，将具有13台先进的EUV曝光设备。SK海力士今年计划投入5.3兆韩元于半导体设备，EUV占近40%。
报导指出，新采购的EUV设备将用于先进制程的过渡，SK海力士正推动向第5代动态随机存取存储器（DRAM）的转换。从第4代DRAM（1a）起，EUV便是不可或缺的设备。去年5月，SK海力士完成DRAM最先进10纳米第5代（1b）制程的开发，该公司计划进一步扩大该制程的应用。
与此同时，SK海力士中国无锡厂的DRAM产量占整体40%，目前进行第4代DRAM产线的调整，由于无法将EUV输入中国，因此SK海力士决定今年开始将该厂生产的晶圆从中国空运回韩国，进行必要的EUV调整。
一名SK海力士发言人向彭博资讯表示，无法对资本支出计划置评。