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三星、SK 海力士将在 3D DRAM 采混合键合,美光研究中

* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2024-06-22
韩国存储器芯片制造商三星和 SK 海力士预计在即将推出的 3D DRAM 中采用混合键合(Hybrid Bonding)技术。

SK 海力士指出,将在 3D DRAM 生产中采用晶圆键合技术。晶圆键合也被称为混合键合,即芯片垂直堆叠,通过矽穿孔(TSV)或微型铜线连接,I/O直接连接,没有用到凸块连接。根据芯片堆叠方式,还有分为晶圆到晶圆(wafer-to-wafer)、晶圆到裸晶(wafer-to-die)和裸晶到裸晶(die-to-die)。
3D DRAM 是 DRAM 的未来概念,即 DRAM 单元垂直堆叠,如现今 NAND 单元垂直堆叠一样。三星和 SK 海力士计划在不同晶圆上制造“单元”(Cell)和周边元件(peripherals),再透过混合键合连接。
现在的 DRAM 在同一晶圆单元层两侧周边元件,会使表面积扩大太多,因此在不同晶圆上分离周边元件,有助于提高单元密度。
目前三星也在研究 4F Square DRAM,并有望在生产中应用混合键合技术。4F Square 是一种单元阵列结构,与目前商业化的 6F Square DRAM 相比,可将芯片表面积减少 30%。
至于另一间存储器大厂美光先前在 COMPUTEX 记者会上表示,公司也正着手开发 HBM4,会考虑采用包括混合键合在内等相关技术,目前一切都在研究中。