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韩国投资3700万美元建设12英寸半导体测试平台

* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2019-09-03

根据韩媒报道,韩国国家NanoFab中心(NNFC)开始为12英寸半导体建立测试平台,其主要用途是用作氟化氢和光刻胶等半导体材料研究。NNFC有助于加速半导体材料的本地化进程,缩短韩国半导体材料与半导体制造技术水平之间的差异。

据消息,NNFC将投资3700万美元用于建设测试平台,其中947万美元将作为补充预算。

NNFC将根据12英寸晶圆厂建立实验基地,用于半导体材料测试,目前,NNFC正在推动引入洁净室和ArF光刻机,预计2020年4月开始全面提供服务。

NNFC代表表示,我们计划引入10种用于制造40nm晶圆所必要的设备和系统来操作我们的测试机台,并在2022年完成项目的第一阶段后扩大测试平台和服务规模。

韩国目前有10个半导体相关的测试平台,然而,这些测试平台大部分只适用于8英寸晶圆,缺乏12英寸晶圆的测试平台,对于中小企业者来说,购买12英寸半导体设备是沉重的负担。

NNFC对12英寸设备的购入,便于韩国中小企业者进行基础技术的研究,加快半导体材料的研发进程。

一位韩国半导体从业者表示,韩国政府希望通过提升半导体材料基础设施的水平,加上和三星、SK海力士等半导体大厂的合作加快半导体材料的发展。

此外,半导体光刻胶领域从业者表示,政府也应投资与EUV光刻胶的设备,各行业间需要协同合作,保障晶圆厂正常运行。