美元换人民币  当前汇率7.00

台积电首创干式EUV光罩洁净技术,累计节省超4.7亿元

* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2020-08-02
据台媒报道,台积电导入干式极紫外光(EUV)光罩洁净技术,提升能源与资源使用效率,累计创造改善效益达新台币20亿元(约合人民币4.76亿元)。
台积电创新研发的干式EUV光罩洁净技术从2018年开始导入试产,2019年开始进一步发展干式EUV光罩洁净技术自动化,已于今年1月全面导入12英寸晶圆厂区量产。
据了解,台积电创新研发干式EUV光罩洁净技术,通过干式技术快速去除落尘,取代需要使用纯水与化学品的湿式清洁手法;同时以次纳米级分析技术精准定位落尘来源,从根本排除污染源,至2020年成功使落尘削减率超过99%,导入试产迄今累计节水量约735公吨,降低化学品使用量约36公吨。
另外,干式洁净技术导入后大幅缩短光罩保修频率与时间,使光罩使用率跃升超过80%,并延长先进制程EUV光罩寿命,累计创造的改善效益达20亿元。